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產(chǎn)品型號:SELN-001B
更新時間:2025-12-30簡要描述:有線 2 軸精密數(shù)字水平儀SELN - 001B 是 SEM 坂本電機推出的有線式雙軸精密數(shù)字水平儀,核心優(yōu)勢為超高精度雙軸同步測量、分體式設(shè)計適配狹窄空間,搭配智能觸控顯示與多單位切換,兼顧精密校準(zhǔn)與便捷操作,適配半導(dǎo)體、精密機床等對水平度要求嚴(yán)苛的場景
一、有線 2 軸精密數(shù)字水平儀核心特點與優(yōu)勢
超高精度雙軸同步測量:X/Y 軸同步檢測,角度精度達(dá) ±0.001°(約 17.5μm/m),測量分辨率 0.0002°,零點重復(fù)精度≤±0.001°,避免單軸調(diào)整的累積誤差,大幅縮短校準(zhǔn)工時。
分體式適配狹窄空間:傳感器與主機分體有線連接,傳感器尺寸僅 φ50×19mm、重 70g,可伸入設(shè)備狹縫等遮擋部位測量,主機通過 4.3 英寸彩色 LCD 觸摸屏實時反饋數(shù)據(jù),操作直觀。
智能操作與單位靈活切換:支持 μm/m、°、°′″等單位切換,量程可在 0.01/0.001/0.0001 三檔切換,可設(shè)置合格角度范圍,新手也能快速完成水平調(diào)整,減少人為讀數(shù)誤差。
強環(huán)境適應(yīng)性與穩(wěn)定輸出:具備電磁屏蔽與振動補償設(shè)計,工作溫度 - 10℃至 + 50℃,適配半導(dǎo)體無塵車間等復(fù)雜環(huán)境,響應(yīng)速度≤50ms,保障實時測量穩(wěn)定性。
輕便易攜與供電靈活:主機重 280g,尺寸約 96×35×145mm,可通過 DC6V 專用適配器或 4 節(jié) AA 電池供電,適配現(xiàn)場移動測量需求。
二、有線 2 軸精密數(shù)字水平儀主要技術(shù)參數(shù)
測量范圍:X 軸與 Y 軸線性角度均為 ±0.3°,顯示范圍達(dá) 0.0001°,OVER 顯示閾值為 0.3° 及以上。
精度與分辨率:角度精度 ±0.001°,測量分辨率 0.0002°,A/D 轉(zhuǎn)換器為 14 位,A/D 分辨率 0.000025°,零點重復(fù)精度≤±0.001°。
響應(yīng)與顯示:響應(yīng)速度≤50ms;4.3 英寸彩色 LCD 觸摸屏,支持多單位切換,量程切換有 0.01/0.001/0.0001 三檔,主機含 32 位微處理器。
物理規(guī)格:傳感器尺寸 φ50×19mm,重 70g(基于 SVS 底座);主機尺寸約 96×35×145mm,重 280g,采用有線連接方式。
供電與環(huán)境:主機可接 DC6V 專用 AC 適配器或 4 節(jié) AA 電池;工作溫度 - 10℃至 + 50℃,存儲溫度 - 20℃至 + 60℃,相對濕度≤90% RH(無結(jié)露),具備防塵與抗電磁干擾能力。
三、典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造設(shè)備校準(zhǔn):適配光刻機、晶圓鍵合機、CMP 拋光平臺等設(shè)備水平調(diào)整,控制水平度在 0.001° 級精度,保障晶圓加工質(zhì)量與光刻成像效果。
精密機床與自動化產(chǎn)線:用于 CNC 機床工作臺、導(dǎo)軌、機器人底座水平校準(zhǔn),減少加工誤差,提升生產(chǎn)線加工精度與穩(wěn)定性。
光學(xué)與精密儀器調(diào)試:適用于電子顯微鏡、光譜儀等光學(xué)設(shè)備的底座水平校準(zhǔn),保證儀器測量精度,避免微小傾斜影響檢測結(jié)果。
精密儀器研發(fā)與質(zhì)檢:在實驗室研發(fā)階段用于設(shè)備水平參數(shù)標(biāo)定,以及精密零部件生產(chǎn)過程中的水平度質(zhì)檢,保障產(chǎn)品一致性。
航空航天零部件檢測:適配航空發(fā)動機、精密傳動部件等的水平度測量,滿足航空航天領(lǐng)域?qū)α悴考鹊膰?yán)苛要求。
四、操作流程簡述
準(zhǔn)備與檢查:確認(rèn)傳感器、主機及連接線完好,清潔傳感器測量面;給主機裝 4 節(jié) AA 電池或接入 DC6V 適配器,開機后完成自檢,確保設(shè)備沒故障。
安裝與定位:將傳感器固定在 SVS 底座上,放置于被測部位,確保貼合緊密;若測量狹窄區(qū)域,通過延長線連接傳感器與主機,保證信號穩(wěn)定,使 X/Y 軸與測量基準(zhǔn)方向一致。
參數(shù)設(shè)置與測量:通過觸摸屏切換單位(如 μm/m、°)與量程檔位,設(shè)置合格角度閾值;待讀數(shù)穩(wěn)定后記錄數(shù)據(jù),可連續(xù)監(jiān)測并實時查看數(shù)據(jù)變化,若超閾值則及時調(diào)整。
數(shù)據(jù)處理與維護:測量結(jié)束后保存數(shù)據(jù),關(guān)閉設(shè)備電源;清潔傳感器與主機外殼,檢查連接線無破損,存放于干燥通風(fēng)處,定期校準(zhǔn)以保障測量精度。
數(shù)字水平儀監(jiān)控詳情

數(shù)字水平儀規(guī)格
| 物品 | 目錄 | |
|---|---|---|
| 傳感器部門 | 線性 - 角度 | X方向±0.3度Y,±0.3度 |
| 測量分辨率 | 0.0002度 | |
| 零點重復(fù)性 | ±小于0.001度 | |
| 響應(yīng)速度 | 不到50毫秒 | |
| 服務(wù)溫度 | -10°C~+50°C | |
| 身體部位 | 微控制器 | 32位 |
| A/D部門 | 14位 | |
| 測量范圍 | ±0.3度 | |
| A/D 分辨率 | 0.000025 deg | |
| 展示單元 | 0.0001 度 | |
| 傳球范圍設(shè)定范圍 | 0.0001 度 | |
| 范圍切換 | 0.01/ 0.001/ 0.0001 | |
| OVER 表示 | 0.3度或更高 | |
| 特色 | 傳感器連接數(shù)量 | 1 ch |
| 展示部門 | 4.3英寸彩色LCD觸摸面板 | |
| 480×272個點 | ||
| 電源 | 專用交流適配器 DC6V/2A | |
| 4節(jié)AA電池(1.5伏) | ||
| 尺寸 | 監(jiān)視器 | W96×D35×H145毫米 |
| 傳感器(基于 SUS) | φ50×H19 mm | |
| 電纜 | 2米 | |
| 重量 | 監(jiān)視器 | 392克 |
| 傳感器 | 70克 | |
| 配件 | 4節(jié)AA電池(1.5伏) | |
| 專用交流適配器 DC6V/2A | ||
| 說明書 | ||
| 保修卡 |
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