
產(chǎn)品分類(lèi)
PRODUCT CLASSIFICATION
更新時(shí)間:2025-12-27
瀏覽次數(shù):122025年我司成功為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體Feb工廠,提供了高性價(jià)比且品質(zhì)優(yōu)異的ESC硅膠加熱裝置。
在此向大家介紹一下在半導(dǎo)體制程中的刻蝕(ICP&CCP),化學(xué)氣相沉淀等工藝中使用的靜電卡盤(pán)。該產(chǎn)品是一種利用靜電吸附原理固定晶圓的裝置,該產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、平板顯示、LED 等領(lǐng)域。其次,我司定制的靜電卡盤(pán)硅膠加熱的本體采用高性能陶瓷材料,具有優(yōu)異的導(dǎo)熱性、絕緣性和耐腐蝕性。我們提供的日本制硅膠加熱膜可以在很短的時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)卡盤(pán)的快速均勻升溫,對(duì)客戶的工藝生產(chǎn)起到了很好的促進(jìn)作用。目前,我司已經(jīng)中標(biāo)了幾個(gè)大型的國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體晶圓加熱項(xiàng)目,并且實(shí)現(xiàn)了大批量靜電卡盤(pán)ESC硅膠加熱產(chǎn)品的定制化供應(yīng)鏈管理。
納加霍里科技(深圳)有限公司致力于為客戶提供優(yōu)質(zhì)的半導(dǎo)體制程產(chǎn)品和工藝,包括封裝的膠水和金屬線,膜厚測(cè)試儀器等產(chǎn)品和技術(shù)。

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